產品信息
特 點
● 采用分光干涉法
● 搭載高精度FFT膜厚解析系統（專利 第4834847號）
● 使用光學光纖，可靈活構筑測量系統
● 可嵌入至各種制造設備。
● 實時測量膜厚
● 可對應遠程操作、多點測量
● 采用壽命長、安全性高的白色LED光源
測量項目
● 多層膜厚解析
用 途
● 光學薄膜（超硬涂層、AR薄膜、ITO等）
● FPD相關（光刻膠、SOI、SiO2等）
設備構成
單點型
● 半導體晶圓的面內分布測量
● 玻璃基板的面內分布測量
多點型
● 實時測量
● 流向品質管理
● 真空室適用
導線型
● 寬度方向品質管理
測量案例
超硬涂層的膜厚解析
